洁净工作台出厂检测报告新模板.doc

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检测报 告

报告编号:

产品名称: 产品型号:BBS-H1300 检验时间:

山东博科生物产业有限公司

1.气流模式:

2.洁净度

检测仪器: 激光尘埃粒子计数器
仪器型号: CSJ-D
仪器图片:
仪
器
参
数:
适用范围:100级~30万级
粒径通道:
0.3、0。5、1、3、5、10(um)
采样周期:
110分钟
采样点数: 2
7
采样次数:2~9
采样量
:2.83升/分
自净时间:≤10分钟
检
测
方
法:
1. 将玻璃升到规定的最高值,无玻璃窗操作口的可直接检测;
2. 在工作台面向上200mm,测试区域边界与洁净台的内壁及
操作口的距离应为100mm;
3. 除在测试区域四个角布置采样点外,还需在测试区域内沿
中心线平均布点,测试区域内的采样点数目不得少于5个;
4. 每个采样点的采样次数不得少于3次,每次采样量应不小
于5.66L;
5. 粒子计数器的采样口应正对气流方向;
布点图:
性能指标:


洁净等级应满足100级要求:≥0.5μm的尘埃粒子数≤3.
5个/L
检
测
结
果:
检测结论:

3。风速

检测仪 热式风速仪
器:
仪器型 TSI9535
号:
仪器图
片:
仪器参
数:
显示范围:0~30m/s;
精度:
读数的±3%或±0.015m/s;
分辨率:
0。01m/s
检测方 将洁净台的气流流速设置为生产厂商规定的最低值,按下列方
法: 式在散流装置前侧100mm的垂直面上确定测量点位置,多点测量穿
过该平面的水平气流流速:
a)测量点等距分布,形成的正方形栅格不大于150mm×150
mm,测试点最少应有3排,每排最少应有7个测量点;
b)
测试区域边界与洁净台的内壁及操作口的距离应为
100mm;
c) 用夹具将风速仪探针准确定位在各测量点进行测量.记录

所有测量点的测量值并根据测量值计算出平均值;

d) 将洁净台的气流流速设置为生产厂商规定的最高值, 重复上述试验步骤。

布 点
图:
性能指 洁净台工作区平均气流流速在0.30m/s~0。50m/s
标:
检测结 检测结论:
果:

4。噪音

检 测仪 数字声级计
器 :
仪 器型 HS5633
号 :

仪器图 片:

仪器参数: 1.测量范围: 1)低量程档L:40dB—100dB; 2) 高量程档H:70dB—130dB。

  • 2。 频率范围:31。5Hz~8kHz
  1. 频率计权:A计权;

4. 显示器特性:数字自动显示,循环时间为1次/秒,分辨率 0.1dB;

  • 5。时间计权特性:F(快)

  • 检测方法: a) 将声级计设置为“A"计权模式; b) 打开洁净台的风机和照明灯,在洁净台前面中心水平向 外300mm、工作台面上方380mm处测量噪声。

  • 布点图:

性 能 指 ≤65dB(A) 标: 检 测 结 检测结论: 果:

5.振动

检测仪器: 振动计
仪器型号: AWA5933
仪器图
片:
仪器参数: 1.传感器:压电加速度计,电荷灵敏度约
3pC/m。s2;
频率范围:10Hz5000Hz;重量:约20g
2.频率范围:10Hz
1000Hz
3.
测量范围:振动加速度a(峰值)
0。01~199.9
m/s2
振动烈度Sev(速度有效值)
0。011
99。9 mm/s
振幅s(峰-峰值)
0。1
1999 μm
检
测
方
法:
a)
用夹钳、螺钉、带有凡士林凝胶薄膜的磁铁或双面胶带
将振动仪的传感元件固定到工作台面的几何中心;
b)
测定洁净台正常工作时的总振动振幅;
c)
关闭洁净台的风机,测定背景振动振幅;
d)
从总振动强度中减去背景振动振幅,为洁净台的净振
动振幅.

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